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Tektronix泰克 4200A-SCS參數(shù)分析儀

Tektronix泰克 4200A-SCS參數(shù)分析儀

名稱:其他儀器與工具

品牌:

型號:

簡介:Tektronix泰克 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 親眼見證創(chuàng)新! 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能最高的參數(shù)分析儀...

  • 產(chǎn)品介紹
Tektronix泰克 4200A-SCS 參數(shù)分析儀是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能最高的參數(shù)分析儀, 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業(yè)知識和數(shù)百項隨時 可以投入使用的應(yīng)用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程,快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進行靈活配 置,不管是現(xiàn)在還是未來,都可以隨時對系統(tǒng)進行升級。通過 4200A-SCS 參數(shù)分析儀,通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡便。
 

主要性能指標(biāo)
I-V 源測量單元(SMU)
  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
  • 100 fA測量分辨率
  • 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
  • 100 μF負(fù)載電容
  • 四象限操作
  • 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)
  • AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
  • ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
  • 選配 CVIV 多通道開關(guān),在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
  • 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
  • 200 MSa/s,5 ns 采樣率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 瞬態(tài)波形捕獲模式
  • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB? 模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
  • 兩個高速脈沖電壓源通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB?模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
  • 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針
  • 把 C-V測量移動到任意端子,無需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
  • 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
  • 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安
  • 降低電纜電容效應(yīng)

型號 描述
4200A-SCS-PKA
高分辨率 IV 套件
4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機
4201-SMU:兩個用于高容量設(shè)置的中功率 SMU
4200-PA:一個預(yù)放大器
8101-PIV:一個帶有采樣裝置的測試夾具
4200A-SCS-PKB
高分辨率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機
4201-SMU:兩個用于高容量設(shè)置的中功率 SMU
4200-PA:一個預(yù)放大器
4215-CVU:一個高分辨率多頻 C-V 單元
8101-PIV:一個帶有采樣裝置的測試夾具
4200A-SCS-PKC
高功率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機
4201-SMU:兩個用于高容量設(shè)置的中功率 SMU
4211-SMU:兩個用于高容量設(shè)置的高功率 SMU
4200-PA:兩個預(yù)放大器
4215-CVU:一個高分辨率多頻 C-V 單元
8101-PIV:一個帶有采樣裝置的測試夾具
4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
用于使用尖端硅 CMOS 技術(shù)進行的復(fù)雜 NBTI 和 PBTI 測量 4200-BTI-A 套件包括:
  • 1 個 4225-PMU 超快 I-V 模塊
  • 2 個 4225-RPM 遠(yuǎn)程預(yù)放大器/開關(guān)模塊
  • 自動化檢定套件 (ACS) 軟件
  • 超快 BTI 測試項目模塊
  • 布線
  •  

為材料、半導(dǎo)體器件和工藝開發(fā)提供最優(yōu)秀的參數(shù)分析儀

使用強大的Clarius 軟件,可以更加快速的完成I-V, C-V 和脈沖I-V 測試,結(jié)果清晰明了

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